технологии и оборудование научые исследования информационные ресурсы

 
 

 

Jupiter

Экспериментальная оборудование трехмерной ионной имплантации

Вакуумная камера с вакуумным агрегатом Блок питания Блок контроля и управления
  • Вакуумный агрегат с турбомолекулярным насосом производительностью (720 л/с) и компьютерным управлением.
  • Многоканальная система натеканияс с компьютерным управлением.
  • Водоохлаждаемый керамический вакуумный токоввод. 
  • Выходное напряжение 5-80 кВ. 
  • Мощность до 4кВт. 
  • Длительность импульса 30мкс-2мс. 
  • Частота до 200 Гц .
  • Система защиты от КЗ.
  • Компьютерное управление. 
Стойка содержит следующие блоки 
  • Блок питания ТМН
  • Распределительный блок
  • Блок управления разрядом
  • Блок управления вакуумной системой и натеканием
  • Блок связи с персональным компьютером
 
Copyright © 1998-03 Plasma LAB | e-mail:tsyg@bmstu.ru