Многослойные наноструктуры - слоистые композиции
(пленки, фольги, покрытия), состоящие из чередующихся нанослоев
различных материалов, с толщиной слоев менее 100 нм и количеством
слоев до нескольких тысяч. В качестве компонентов слоев, в
таких системах, может использоваться широкий круг материалов:
металлы и сплавы, полупроводниковые материалы, диэлектрики.
3D Ионная Имплантация – метод обработки, при котором высокоэнергетический
ионный поток на изделие формируется непосредствено в
процессе горения импульсного самостоятельного разряда между
заземленной вакуумной камерой и изделием, являющемся катодом.
Ионы, ускоренные в поле прикатодного падения малой толщины
эффективно модифицируют поверхность изделия, которое может
иметь сложную объёмную форму.
